СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Способ получения трихлорсилана гидрированием тетрахлорида кремния водородом на нагретых реакционных поверхностях с получением парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан, водород, хлористый водород, тетрахлорид кремния, разделение компонентов парогавовой смеси, рециркуляцию тетрахлорида кремния и водорода, отличающийся тем, что исходную смесь компонентов для гидрирования приготавливают в испарителе путем барботажа водорода через слой тетрахлорида кремния при температуре и давлении, обеспечивающих получение парогазовой смеси в мольном соотношении водорода и тетрахлорида кремния (1-3):1, в качестве реакционных поверхностей используют нагревательные элементы и экраны, выполненные из графитовых и/или углерод-углеродных композиционных материалов, разделение компонентов отходящей парогазовой смеси осуществляют последовательно, сначала проводят конденсацию тетрахлорида кремния, его ректификацию и возврат на приготовление исходной парогазовой смеси компонентов для гидрирования, оставшиеся компоненты отходящей парогазовой смеси компримируют и затем последовательно выделяют компоненты; сначала конденсируют трихлорсилан, затем выделяют хлористый водород абсорбцией охлажденным трихлорсиланом и его десорбцией в газовую фазу при нагревании, после чего выделяют водород в газовую фазу при адсорбции оставшихся хлорсиланов на активированном угле, полученные хлористый водород направляют на синтез исходного трихлорсилана для процесса водородного восстановления кремния, а водород - на приготовление исходной парогазовой смеси для гидрирования.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что процессы приготовления исходной смеси тетрахлорида кремния и водорода, гидрирование, разделение компонентов отходящей парогазовой смеси проводят в едином рециркуляционном контуре, для создания которого исходный и регенерированный тетрахлорид кремния, исходный и регенерированный водород направляют в испаритель под давлением, создаваемым в системе аппаратов путем компримирования отходящей после гидрирования парогазовой смеси после выделения из нее тетрахлорида кремния.

3. Способ по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, гидрирование ведут при избыточном давлении парогазовой смеси в реакторе 2-3 ати.

4. Способ по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что компримирование отходящей парогазовой смеси ведут до давления 7,5-8,0 ати.