[1]Изобретение относится к машиностроению, преимущественно к точному.
[2]В современном точном машиностроении широко используются электронные модули, в состав которых входят плоские металлические подложки. Если подложка не будет плоской, то, напыляя различные слои, плоскостности добиться будет невозможно, так как одинаково ″волны″ поверхности будут покрываться равнотолщинным слоем напыляемого материала. А для монтажа электронных компонентов планарность (плоскостность) поверхности, на которую осуществляется монтаж, является одним из важных параметров.
[3]Известны следующие способы выравнивания геометрических неровностей металлических пластин: механической планаризации (например, фрезерование), наиболее распространенный и применяемый - способ химико-механической планаризации, плазменная планаризация. Во всех этих способах удаляется слой металла с поверхности пластины (в последнем способе - за счет испарения) (http://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%A5%D0%B8%D0%BC%D0%B8%D0%BA%D0%BE-%D0%BC%D0%B5%D1%85%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F_%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D0%BD%D0%B0%D1%80%D0%B8%D0%B7%D0%B0%D1%86%D0%B8%D1%8F,
[4]http://www.google.ru/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd=3&ved=0CDUQFjAC&ur l=http%3A%2F%2Fvesmik.pstu.ru%2F_engine%2Fget_file.php%3Ff%3D542%26d%3D_res%2Ffs% 2F%26p%3Dfile.pdf%26n%3D%25C3%25CE%25CB%25DC%25C4%25D8%25D2%25C5%25C9% 25CD%2520%25D0.%5C2.%2C%2520%25CE%25D1%25C8%25CF%25C5%25CD%25CA%25CE %2520%25CC.%25CD.%2520%25D5%25E8%25EC%25E8%25EA%25EE-%25EC %25E5%25F5%25E0%25ED%25E8%25F7%25E5%25F1%25EA%25EE%25E5%2520%25EF%25E E%25EB%25E8%25F0%25EE%25E2%25E0%25ED%25E8%25E5.%2520%25D7%25E0%25F1%2 5F2%25FC%2520I.%2520%25CE%25F1%25ED%25EE%25E2%25ED%25FB%25E5%2520%25E7 %25E0%25EA%25EE%25ED%25EE%25EC%25E5%25F0%25ED%25EE%25F1%25F2%25E8%3A %2520%25EE%25E1%25E7%25EE%25F0&ei=crcbUsnHC6aC4gSJt4CABg&usg=AFQiCNGpx5Ms KKsIQH-VfhFAmHXfS6jTMA&bvm=bv.51156542,d.bGE&cad=rjt,
[5]http://cactus.stack.net/search.html?word=%D1%85%D0%B8%D0%BC%D0%B8%D0%BA%D0%BE-%D0%BC%D0%B5%D1%85%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F%20%D0%BF%D0%BB%D0%B0%D0%BD%D0%B0%D1%80%DO%B8%D0%B7%D0%B0%D1%86%D0%B8%D1%8F, http://www.findpatent.ru/patent/223/2235747.html, http://technomag.edu.ru/doc/282054.html).
[6]Известны также различные способы терморихтовки, один из которых (SU 352953 А1) выбран за прототип.
[7]Предлагаемый способ терморихтовки отличается от прототипа тем, что нагрев металлических листов прямоугольной или круглой формы (это может быть и один лист), размещенных между плоскими, сжимающими пакет плитами, нагревают, помещая собранное устройство в печь для равномерного его нагрева до температуры пластичности рихтуемого металла, а охлаждение после извлечения из печи осуществляют избирательно, обеспечивая условия для более быстрого остывания элементов, например шпилек, зажимающих рихтуемые листы, что вызывает возникновение в шпильках термических напряжений, значительно усиливающих сжатие листов, сохраняющих пластичность, из-за замедленного остывания.
[8]Для реализации этого способа может быть использовано устройство, представляющее собой две массивные плоские шлифованные плиты, снабженные по контуру отверстиями, в которые вставляются зажимающие пакет листов шпильки, снабженные сквозными отверстиями, служащими для охлаждения шпилек, причем в устройстве предусмотрена возможность прохода воздуха через каналы как за счет естественной конвекции, так и за счет принудительной продувки воздуха от воздушной сети.
[9]Очень важным является то, что в предлагаемом изобретении обеспечивается усилие зажима пластин вплоть до 250 т и даже более.
[10]Технический результат изобретения - расширение арсенала технических средств планаризации металлических пластин.
[11]Фиг.1-5 упрощенно иллюстрируют пример реализации предлагаемого способа:
[12]1. Берут плоскую массивную шлифованную плиту 1, снабженную по контуру отверстиями (фиг.1).
[13]2. Размещают пакет металлических листов 2 на этой плите (фиг.2).
[14]3. В отверстия плиты вставляют шпильки 3, снабженные отверстиями, служащими для охлаждения шпилек (фиг.3).
[15]4. Помещают вторую плоскую массивную шлифованную плиту 1 сверху пакета так, чтобы шпильки попали в ее отверстия, и зажимают рихтуемые листы (фиг.4).
[16]5. Собранное устройство помещают в печь для равномерного его нагрева до температуры пластичности рихтуемого металла.
[17]6. Извлекают устройство из печи и осуществляют либо естественную конвекцию воздуха, либо принудительную продувку воздуха через сквозные отверстия в шпильках от воздушной сети (фиг.5).
